自动晶圆贴标设备

ASM-1001

本设备为晶圆条形码标签自动贴附设备。目的在使后续工序透过Barcode Reader将产品生产序号读入,作设备生产时账目控管用途。

应用制程

自动晶圆贴标设备可以应用于任何半导体制程中(前段/后段/封装…等)

效益

有效避免人员标签误贴,并透过SECS与 Host沟通取得标签内容正确性,确保内部产品作业流程正常。

规格及特色

  • 适用 8”(200mm)及12”(300mm)晶圆框架
  • 8”& 12”机构自动切换
  • 可读取Bar code辨识Wafer身分
  • 贴标角度可360°调整
  • 可依不同Lot ID设定相对应的Recipe
  • 卷标读取复检系统