铁框清洗设备
本产品为半导体、晶圆厂使用之铁框清洗机。针对铁框残胶进行清洁动作，本清洗机可作正反面清洁动作，且8”/12” Frame共享。
制程应用
胶膜人员从铁框下膜后，铁框进行表面Particle擦拭清洁及检查。
效益
自动化正反面清洁铁框残胶，并具备残胶及平面度检知功能，可有效减少人力需求，并有效控管Frame清洁度及翘曲变形量。
规格及特色
- 8” & 12” Wafer Frame共享
- 自动切换作业尺寸
- 8” & 12”铁框专用搬运台车
- 自动铁框分片机构
- 清洁圈数/药液量/速度 参数可控制
- 具备正/反面清洗功能
- 平面度/残胶检知功能
- 支持 E84及SECS/GEM通讯规格
