ウェハーフレーム下ろし洗浄装置

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ウェハーフレーム下ろし洗浄装置

本装置はP＆Pプロセスに接続され、主に自動フレームの下ろし/パッケージ/フレームの洗浄と検査の機能を実行し、効果的にOP作業の手間を軽減することができます。

ブルーテープからフレームを自動的に下ろし、廃ダイの写真を撮って保存することができます。フレームの裏表はがし洗浄、糊残り検査、平坦度検査機能があります。また、OPの作業工数を効率的に削減し、フレームの清潔度と反りを管理することができます。廃棄されたテープには自動的にラベルが貼られ、次の問い合わせに対応します。

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