ウェハー反り測定装置

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ウェハー反り測定装置
本装置は、ウェハーの反りを測定するために設計された自動装置です。

応用プロセス

ウェハー反り測定装置は、あらゆる半導体プロセス（フロントエンド/バックエンド/パッケージなど）に適用できます。

利点

ウェーハの反り差を効果的に管理し、プロセス中の製品ロスを防止・回避します。

仕様と特徴

  • 8インチと12インチウェハー対応
  • 測定ヘッド測定繰り返し精度±0.5μm
  • ロボット反り対応能力：+6mm/-6mm
  • 適用ウェハー厚さ：430~980um
  • 測定方式：360°測定
  • 最小測定角度設定値は1°です
  • 装置測定繰り返し精度：±1um
  • E84とSECS/GEM通信仕様対応

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