コーティング液補充システム

coating_rehydrate_sys

本システムは、DISCO装置専用のコーティング液自動補充システムです。

利点

主にDISCO装置のコーティング液残量を監視することで、産品の歩留まりを上がり、コーティング液や労力の無駄遣いを減らすことができます。

仕様と特徴

  • 液漏れ検知モジュール
  • 気泡検知モジュール
  • コーティング液ろ過モジュール
  • バッファータンクオーバーフロー検知モジュール
  • タンク入替検知モジュール