鐵框清洗設備
本產品為半導體、晶圓廠使用之鐵框清洗機。針對鐵框殘膠進行清潔動作，本清洗機可作正反面清潔動作，且8”/12” Frame共用。
製程應用
膠膜人員從鐵框下膜後，鐵框進行表面Particle擦拭清潔及檢查。
效益
自動化正反面清潔鐵框殘膠，並具備殘膠及平面度檢知功能，可有效減少人力需求，並有效控管Frame清潔度及翹曲變形量。
規格及特色
- 8” & 12” Wafer Frame共用
- 自動切換作業尺寸
- 8” & 12”鐵框專用搬運台車
- 自動鐵框分片機構
- 清潔圈數/藥液量/速度 參數可控制
- 具備正/反面清洗功能
- 平面度/殘膠檢知功能
- 支援 E84及SECS/GEM通訊規格
