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高粘度、次世代液晶に最適な平面塗布方式。
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高精度・高応答狭GAP対応Head
高再現性Head(温度調整による温度一定化)
Recipe切り替え時間短縮、高稼働率(95%以上)
8"" Wafer対応、最小Chip Size 0.12""対応
OLED、QD-OLED、QD-CF、QD-ELなど各種成膜材料に対応
代理ブランド 日本AIメカテック
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