ウェハーフリップ自動検査システム

WF-1000
ウェハーフリップ自動検査システム
ウェハーフリップ自動検査システムは、來料の製品ウェハーを箱分け、反転するシステムです。AOI検査でウェハー表面異物の検出、ガラス破損の検査は可能です。

仕様と特徵

  • 12インチウェハー対応
  • ウェハー反り＞±5mm予検可能
  • Vノッチ位置決め、オリフラ2Dバーコードスキャン位置決め機能あり
  • OCRウェハーID対照機能あり
  • ウェハーのクロスロット、ダブルスロット検出機能あり
  • 欠陥検出タイプ：ウェハーのスクラッチ、クラック、破損、異物、Un R/L /Residue
  • 欠陥検出能力＞10um
  • SECS/GEM通信機能あり

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